高能电子束通过磁场时轨迹将发生弯转同时发出同步辐射光。波荡器是一种产生空间周期性分布磁场的电磁装置，高能电子束在波荡器中作波荡前行，同时在每个波动周期内发出的同步辐射相互干涉，从而使辐射光强度大大增强，而真空内波荡器更是为同步加速器高品质光源提供条件。真空内波荡器不仅要求磁场分布满足极其苛刻的条件以保证每个周期内发出的同步辐射光相互干涉，同时要求真空室内能获得超高真空。因其气隙较小，波荡器磁铁置于真空室内而称为真空内波荡器。上海应用物理研究所在2009年7月至2010年7月间和2011年10月至2012年12月间，分别为韩国浦项加速器实验室和国家同步辐射实验室研制成功了真空内波荡器IVU20和IVU40。
其中，韩国浦项加速器真空波荡器IVU20为周期长度20mm，总长约1.8，利用其7次谐波辐射在电子束能量为2.5GeV的韩国光源上产生能量为5-20keV的硬X射线用于超小角度X-射线散射光束线。这是一台迄今为止我国研制的周期长度最短、气隙最小的波荡器，其最小气隙仅为5mm。
国家同步辐射实验室真空内波荡器IVU40为周期长度40mm，总长约1.7，在国家同步辐射实验室电子束能量为800MeV的同步辐射光源上产生能量为20-600eV，相应波长62-2.07nm的同步辐射光用于表面物理光束线。
由上海应用物理所研制的真空内波荡器，无论是磁场指标还是真空度指标都达到了国际先进水平。
