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含有栅绝缘层的异质结型有机半导体场效应晶体管及制作方法

  • 申请号:CN03102064.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院长春应用化学研究所
  • 公开(公开)号:CN1430293
  • 公开(公开)日:2003.07.16
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 含有栅绝缘层的异质结型有机半导体场效应晶体管及制作方法
申请号 CN03102064.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN1430293 公开(授权)日 2003.07.16
申请(专利权)人 中国科学院长春应用化学研究所 发明(设计)人 阎东航;张坚;王军;王海波;严铉俊
主分类号 H01L51/20 IPC主分类号 H01L51/20;H01L51/40
专利有效期 含有栅绝缘层的异质结型有机半导体场效应晶体管及制作方法 至含有栅绝缘层的异质结型有机半导体场效应晶体管及制作方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种具有耗尽型工作模式或反型工作模式的有 机半导体场效应晶体管,包括衬底(1),在衬底(1)上形成栅电极 (2),在衬底(1)和栅电极(2)上形成栅绝缘层(3),在栅绝缘层(3) 上形成第一半导体层(4),在第一半导体层(4)上形成源/漏电级 (5),在第一半导体层(4)和源/漏电极栅(5)上形成第二半导体层 (6)。

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