专利详情

专利名称	复合热沉半导体激光器结构及制备方法
申请号	CN200410010740.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1564403	公开（授权）日	2005.01.12
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	尧舜;王立军;刘云;张彪
主分类号	H01S5/024	IPC主分类号	H01S5/024;H01S5/00
专利有效期	复合热沉半导体激光器结构及制备方法至复合热沉半导体激光器结构及制备方法	法律状态	文件的公告送达
说明书摘要	本发明涉及新型复合热沉高功率半导体激光器列阵/叠阵结构及其制备方法。选取高导热导电材料加工成矩形并将其表面抛光、清洗；选取高导热绝缘材料加工成矩形、表面抛光并清洗、金属化处理；将金属化表面用高导热材料连接并沿垂直于连接面方向切割所需的复合热沉形状，然后对复合热沉切面进行抛光并清洗；再将激光芯片条与复合热沉间隔排列并焊接在一起，从而完成复合热沉高功率半导体激光器列阵 /叠阵的制作。结构包括激光芯片条1、高导热导电材料2、高导热绝缘材料3。本发明工艺简化，成本降低。热沉一致性好，提高了激光器整体性能；同时高导热导电材料和高导热绝缘材料之间连接质量更好有效降低了器件热阻，提高了结构的机械强度。