专利详情

专利名称	光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法
申请号	CN201110167236.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102243137A	公开（授权）日	2011.11.16
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	朱菁;黄惠杰;曾爱军;胡中华;杨宝喜;陈明
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B27/10(2006.01)I
专利有效期	光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法至光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测装置和检测方法，装置的构成包括可见激光器，在该可见激光器输出激光的方向同光轴地依次设有扩束镜组、分束镜、第一远场成像透镜、可调光阑或CCD图像传感器、第二远场成像透镜和第二能量传感器。本发明适用于任何紫外波段的光束整形元件的光学性能检测，而且具有成本低，使用简便，测量快速的特点。