专利详情

专利名称	微型实心硅针阵列芯片及其制备方法和用途
申请号	CN200310122500.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1569271	公开（授权）日	2005.01.26
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	徐百;高云华
主分类号	A61M37/00	IPC主分类号	A61M37/00
专利有效期	微型实心硅针阵列芯片及其制备方法和用途至微型实心硅针阵列芯片及其制备方法和用途	法律状态	专利实施许可合同的备案
说明书摘要	本发明属于透皮药物释放器件领域，特别涉及一种以单晶硅为材料制作的微型实心硅针阵列芯片，以及利用微机电加工(Microelectromechanical systems：MEMS)技术制作微型实心硅针阵列芯片的方法和用途。利用光刻、湿蚀刻和等离子体干蚀刻及镀膜等微机电加工(MEMS)技术制作微针实心阵列芯片。在微针的侧面开有侧槽，结合双面对准光刻技术，在实心微针的背面制作了一个至多个储药池，储药池与实心微针面相连接可以增加给药量。本发明工艺简单，实心微针耐用性好，特别适用于生物大分子药物的透皮药物释放。