专利详情

专利名称	具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的制备方法
申请号	CN200710045149.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101170158	公开（授权）日	2008.04.30
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	褚君浩;孟祥建;林铁;石富文;孙璟兰;马建华;韩莉
主分类号	H01L37/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01L37/02(2006.01)I;G01J5/12(2006.01)I
专利有效期	具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的制备方法至具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法，该方法是采用化学溶液沉积法：溶液由醋酸铅、醋酸镁、乙醇铌、正丁醇钛、乙二醇甲醚和乙酰丙酮组成，配制成0.1-0.3M的前驱体溶液；采用旋转镀膜方式得到凝胶膜，然后在快速退火中分段进行热处理，形成薄膜材料；重复该过程，直至得到理想厚度的薄膜材料。本发明的优点是：整个工艺过程操作简便、成本较低、可制备大面积均匀薄膜。采用本发明方法在 LaNiO₃/Pt/Ti/SiO₂/Si基片上得到的薄膜，经测量不施加偏场时的热释电系数可达 1.6×10^-8Ccm^-2K^-1。