专利详情

专利名称	一种基于相位测量偏折术的非球面镜检测方法
申请号	CN201110049994.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102183213A	公开（授权）日	2011.09.14
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	赵文川;伍凡;范斌;万勇建
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种基于相位测量偏折术的非球面镜检测方法至一种基于相位测量偏折术的非球面镜检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于相位测量偏折术的非球面镜检测方法，检测系统由显示屏、摄像机、电控平移台、半透半反镜和电子计算机组成。摄像机的光心置于待测镜的光轴上。由计算机产生正(余)弦条纹图，并显示在显示屏上。将显示屏上的条纹图投影在被测镜上，反射回来后由摄像机进行拍摄。测量过程中，被测镜固定在电控平移台上，可以在计算机的控制下沿光轴精确移动。对被测镜移动过程中所拍摄的条纹图像进行分析处理得到相位分布，再计算得到非球面法线距和法线角的关系，即非球面的法线汇来描述非球面的面形。同时还可以由法线汇通过几何计算转换到直角坐标系进行评价。本发明具有较大的动态测量范围，为加工过程中波前变化范围较大的非球面反射镜精磨和初抛光阶段提供了检验手段。