专利详情

专利名称	光栅刻线缺陷检验装置
申请号	CN201210088493.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102628811A	公开（授权）日	2012.08.08
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	吴宏圣;曾琪峰;乔栋;张吉鹏;孙强;甘泽龙
主分类号	G01N21/88(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/88(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I
专利有效期	光栅刻线缺陷检验装置至光栅刻线缺陷检验装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	光栅刻线缺陷检验装置，涉及一种光栅刻线缺陷检验装置，解决现有光栅尺制造过程中主尺存在污点和前后相位不一致等情况，靠人工无法完成光栅尺检验的问题，本发明的第一移位驱动装置驱动信号探测头沿检测方向运动，信号探测头检测到光源发出的，并被待测光栅和标准光栅调制的光，并由光电探测器转化为电信号，由信号处理模块进行放大处理和模数转换，最后由脉冲检测模块通过脉冲信号检测刻划缺陷和复制缺陷的存在及其位置，第二移位驱动装置移动标准光栅位置，重复以上处理，直到检测完毕，本发明用于测量长度的光栅尺的长光栅的缺陷和刻线均匀性检测和相位一致性检测。