专利详情

专利名称	一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机
申请号	CN201210133624.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102644052A	公开（授权）日	2012.08.22
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李斌成;郭春
主分类号	C23C14/24(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/24(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I
专利有效期	一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机至一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，与常规真空镀膜机相比，除了热蒸发镀膜功能配置外，多装备了紫外光照射清洁模块；紫外光照射清洁模块主要由紫外光光源、冷却水循环系统和金属外套组成，紫外光照射清洁模块固定到支架上放置于真空镀膜室中，实现对光学元件的紫外光照射清洁功能。紫外光照射清洁模块的功能由真空镀膜机软件控制，也可以手动操作。本发明能快速清除真空镀膜机内放置的光学元件上的碳氢根污染物，有效提高所制备的光学薄膜元件的性能。本发明配置有紫外光照射清洁模块的真空镀膜机主要适用于深紫外/真空紫外波段光学元件镀膜。