专利详情

专利名称	一种微波匀胶装置及匀胶方法
申请号	CN201210148730.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102641823A	公开（授权）日	2012.08.22
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	王磊;景玉鹏
主分类号	B05C5/02(2006.01)I	IPC主分类号	B05C5/02(2006.01)I;B05C11/08(2006.01)I;B05D3/02(2006.01)I
专利有效期	一种微波匀胶装置及匀胶方法至一种微波匀胶装置及匀胶方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及利用微波能干燥半导体的技术领域，具体涉及一种微波匀胶装置。所述微波匀胶装置，包括微波谐振腔、微波源、波导管、电机、真空泵和控制面板；微波源固定在控制面板的控制电路上，微波源通过波导管与微波谐振腔连接；微波谐振腔内设有真空吸盘，真空泵通过管路与真空吸盘的吸嘴相连，电机的输出轴与真空吸盘连接；微波谐振腔上端为拉门式封闭头，拉门式封闭头上设有光刻胶滴管。本发明还提供一种微波匀胶方法。本发明集预烘、匀胶、干燥于一体，在微波照射过程中，光刻胶自身发热，在溶剂挥发的同时光刻胶整体处于熔融状态，极大的改善了胶膜的表面平坦化，其后续精准曝光度也会大大提高。同时本发明的干燥时间较短，降低了能量消耗。