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二氧化钛纳米孔阵列薄膜的制备方法

  • 申请号:CN201110204625.6
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院合肥物质科学研究院
  • 公开(公开)号:CN102888645A
  • 公开(公开)日:2013.01.23
  • 法律状态:实质审查的生效
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专利详情

专利名称 二氧化钛纳米孔阵列薄膜的制备方法
申请号 CN201110204625.6 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102888645A 公开(授权)日 2013.01.23
申请(专利权)人 中国科学院合肥物质科学研究院 发明(设计)人 高旭东;费广涛;欧阳浩淼;郭霄
主分类号 C25D11/26(2006.01)I IPC主分类号 C25D11/26(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;B82Y30/00(2011.01)I
专利有效期 二氧化钛纳米孔阵列薄膜的制备方法 至二氧化钛纳米孔阵列薄膜的制备方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种二氧化钛纳米孔阵列薄膜的制备方法。它先将氟化铵、水和乙二醇混合得到电解液,再使用钛片为阳极、石墨为阴极的二电极体系对电解液进行氧化处理,得到电解液1和电解液2,接着,先将钛片依次置于电解液1、电解液2和电解液中氧化,得到氧化钛片,再将氧化钛片置于氢氟酸溶液中腐蚀,并于其旁通以空气吹动氢氟酸溶液,得到从氧化钛片上剥离的氧化钛薄膜,之后,先将氧化钛薄膜依次分别置于不同浓度的氢氟酸溶液中腐蚀,再逐渐将氢氟酸溶液的浓度稀释至0.004~0.006wt%,制得厚度为10~50nm的二氧化钛纳米孔阵列薄膜。制备方法制得的目标产物既可作为掩膜用来制备量子点,又可作为微栅应用于透射电镜的样品支撑,更是一种很好的滤菌膜材料。

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