专利详情

专利名称	一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法
申请号	CN201210336819.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102891216A	公开（授权）日	2013.01.23
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	李佳;黄金华;鲁越晖;宋伟杰;兰品军
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I
专利有效期	一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法至一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：1）获得含有大颗粒的溶液A；2）获得含有小颗粒的溶液B；3）将溶液A和溶液B混合，搅拌，获得混合溶液C；4）将混合溶液C涂覆在光伏玻璃基底的一侧，之后将溶液B涂覆在光伏玻璃基底的另一侧，然后将该玻璃基底干燥；5）在光伏玻璃基底的一侧溅射沉积形成ZnO基透明导电薄膜；其中，在步骤1）和步骤2）中，颗粒源指的是硅氧化物或金属氧化物的前驱体，大颗粒与小颗粒的粒径差为250~350nm。本发明的双结构绒面ZnO基透明导电薄膜制备方法，无需经过湿法刻蚀即可在光伏玻璃基底的一侧获得双结构绒面ZnO基透明导电薄膜，同时，在光伏玻璃基底的另一侧得到减反射薄膜，操作简单，适合工业化大规模应用。