专利详情

专利名称	一种氮化钒刀具涂层及其制备方法
申请号	CN201210293633.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102785422A	公开（授权）日	2012.11.21
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	黄峰;葛芳芳;李艳玲;朱萍
主分类号	B32B9/04(2006.01)I	IPC主分类号	B32B9/04(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I
专利有效期	一种氮化钒刀具涂层及其制备方法至一种氮化钒刀具涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种纤维结构的氮化钒刀具涂层，该氮化钒刀具涂层中的氮化钒晶粒呈纤维状紧密排列，平均粒径为5-100nm，晶粒长度大于200nm，长度和粒径比大于2，在保证较低摩擦系数的同时，能够保证具有较高的硬度，特别适合作为刀具润滑涂层。本发明还公开了一种纤维状结构的VN刀具涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：在真空室中，V靶安装在中频阴极上，通入N2气，通过调节V靶的功率和N2的流量，在400℃～600℃和0.3Pa～1.0Pa条件下，对基体溅射沉积得到纤维结构的VN刀具涂层，其可操作性强、可控性好、易于工业化生产，具有较好的经济效益。