专利详情

专利名称	一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置
申请号	CN201210304174.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102788562A	公开（授权）日	2012.11.21
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	贾辛;徐富超;谢伟民;邢廷文
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置至一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置，将待测镜放置在二维平移台上，计算机控制二维平移台使待测镜在平面上进行二维运动，待测镜两个侧面放置反射镜，同时反射镜对面放置测长干涉仪系统，测长干涉仪系统通过五路激光，测出待测镜二维运动后的x，y方向的定位误差和x，y方向的倾斜，测长干涉仪系统将测量数据反馈到计算机，利用子孔径位置补偿算法来将x，y方向的定位误差和x，y方向的倾斜误差带入算法中去拼接计算。本发明在原有的子孔径拼接算法基础上，通过测量子孔径拼接过程中的定位、倾斜误差并带入算法来提高测量精度。