专利详情

专利名称	燃料电池极板的MEMS制造方法
申请号	CN201110134239.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102800872A	公开（授权）日	2012.11.28
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	李春龙;赵超
主分类号	H01M4/88(2006.01)I	IPC主分类号	H01M4/88(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	燃料电池极板的MEMS制造方法至燃料电池极板的MEMS制造方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种燃料电池极板的MEMS制造方法，包括：在衬底上形成垫氧层；在所述垫氧层上形成垫氮层；蚀刻所述垫氮层和所述垫氧层，以形成硬掩模图形；以所述硬掩模图形为掩模，蚀刻所述衬底，在所述衬底的上表面上形成未贯穿所述衬底的多个微孔，所述多个微孔构成台面微结构；采用填充物以部分填充所述多个微孔，继续蚀刻其余微孔，直至形成贯穿所述衬底的多个穿孔；去除所述填充物、垫氧层、垫氮层，完全暴露所述衬底；在所述衬底的整个表面上形成绝缘层；在所述绝缘层的上表面上形成电极层。依照本发明的燃料电池极板的MEMS制造方法，相对于现有技术，减少了工艺步骤，降低了制造和时间成本，提高了加工精度及其相应的可靠性。