专利详情

专利名称	一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器
申请号	CN200710062982.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101229910	公开（授权）日	2008.07.30
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	焦斌斌;李超波;陈大鹏;叶甜春
主分类号	B81B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	B81B7/02(2006.01)I;G01J5/02(2006.01)I;G01J5/38(2006.01)I
专利有效期	一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器至一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及红外成像技术领域，公开了一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，该探测器由微悬臂梁单元采用顺序平铺的方式构成，所述微悬臂梁单元包括热变形结构、红外吸收结构和支撑梁；所述热变形结构有两组，分别位于红外吸收结构的两侧，每组热变形结构一端连接于支撑梁，另一端连接于红外吸收结构；所述红外吸收结构包括光学检测板和红外透过板，且二者通过锚爪固定连接；所述热变形结构连接于红外吸收结构的光学检测板，与红外吸收结构的光学检测板分布于同一平面上。利用本发明，解决了图形区硅衬底对红外线反射的问题，提高了探测灵敏度和对入射红外线的吸收率。