专利详情

专利名称	一种微型光辐射探测器的制作方法
申请号	CN200810050498.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101246052	公开（授权）日	2008.08.20
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	梁中翥;方伟;梁静秋
主分类号	G01J5/20(2006.01)I	IPC主分类号	G01J5/20(2006.01)I
专利有效期	一种微型光辐射探测器的制作方法至一种微型光辐射探测器的制作方法	法律状态	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
说明书摘要	本发明涉及一种微型光辐射探测器的制作方法，包括以下步骤：制备衬底；在衬底一个表面沉积加热丝；在加热丝表面沉积绝缘层；在绝缘层的上表面生长辐射吸收材料；将热敏电阻粘接于衬底的另一表面。本发明体积小、热容小；加热丝电阻大，引线电阻影响可忽略不计；热敏电阻灵敏度高，可探测的动态范围大。采用本发明方法制作的微型光辐射探测器结构简单，尺寸及质量都得到了很好的控制，可以作为航天器上新型内置定标基准源，也可以应用于其它热辐射探测领域。