专利详情

专利名称	一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关
申请号	CN200710117611.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101329968	公开（授权）日	2008.12.24
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	李全宝;景玉鹏;陈大鹏;欧毅;叶甜春
主分类号	H01H53/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01H53/00(2006.01)I;H01H53/06(2006.01)I
专利有效期	一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关至一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及微机电系统(MEMS)应用中的射频微机电系统(RF MEMS)技术领域，公开了一种电磁驱动推拉式RF MEMS开关，该射频微机电系统开关包括扭摆梁开关可动部分、电磁驱动部分和传输线部分，在电磁驱动部分的平面线圈加电流产生的磁场与电磁驱动部分的永磁体产生的磁场相叠加，改变整体磁场的方向，驱动扭摆梁开关可动部分动作，接通或断开扭摆梁开关可动部分与传输线部分，实现触点通断。利用本发明，提高了开关寿命，解决了现有电磁驱动RF MEMS开关存在的缺陷，降低了功耗，改善了开关的稳定性，降低了加工的复杂度。