专利详情

专利名称	一种用于相位差波前传感器的离焦量测量方法
申请号	CN201210180083.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102721477A	公开（授权）日	2012.10.10
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	鲍华;饶长辉;李梅
主分类号	G01J9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/00(2006.01)I
专利有效期	一种用于相位差波前传感器的离焦量测量方法至一种用于相位差波前传感器的离焦量测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于相位差波前传感器的离焦量测量方法，通过平行光源入射相位差波前传感器（PD?WFS），处理算法利用离焦面远场光斑图像，在传统GS迭代运算的基础上，根据离焦面仅包含离焦相差和Zernike多项式的正交性对求解过程加以约束，实现精确测量系统离焦量。相对于目前用于相位差波前传感器的各种离焦量测量方法，本发明结构简单稳定，求解过程快速可靠，不需要在光路中移动光电探测器CCD位置、不借助于其它测量工具；并在迭代过程中充分利用各种先验信息增加了约束条件，解决了传统GS算法由于约束条件不足无法获得正确结果的缺陷，具有更高的离焦量测量精度和稳定性，为相位差波前传感器在实际工程中准确测量波前相差以及复原退化图像奠定基础。