专利详情

专利名称	一种基片加热装置
申请号	CN201210225744.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102734930A	公开（授权）日	2012.10.17
申请（专利权）人	中国科学院电工研究所	发明（设计）人	刁宏伟;王文静;赵雷;陈静伟;闫宝军;王革
主分类号	F24H7/00(2006.01)I	IPC主分类号	F24H7/00(2006.01)I;F24H9/02(2006.01)I
专利有效期	一种基片加热装置至一种基片加热装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种基片加热装置，包括油箱体（12）及油箱密封盖。所述油箱体（12）为中空的圆桶形，且开口处设有外延边（11）；内部空间用于存放高温导热油。油箱密封盖外形为圆盘形。密封盖靠近边缘处设有与真空设备对接用紧固螺钉的通孔（7）；油箱密封盖的引线面设有加热器电源引线端子（3、6）、温度测量热偶引线（1、2）、进油口进油端（4）及出油口出油端（5）；所述的油箱密封盖的加热器面（8）上设有加热器（9）、两个温度测量热偶测量端口（1a、2a）、进油口出油端（4a）、出油口进油端（5a）；所述的加热器面（8）与油箱体外延边（11）直接对接，加热器面（8）上有密封刀口（14），所述的密封刀口（14）压在所述油箱体的外延边（11）上。