专利详情

专利名称	一种无盖板的碳纳米管器件结构及其制作方法
申请号	CN201110128174.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102786023A	公开（授权）日	2012.11.21
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李铁;周玉修;王跃林
主分类号	B81B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81B1/00(2006.01)I;B81B7/04(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	一种无盖板的碳纳米管器件结构及其制作方法至一种无盖板的碳纳米管器件结构及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种无盖板的碳纳米管器件结构及其制作方法。该结构包括：(100)单晶硅衬底、碳纳米管以及金属电极；在(100)单晶硅衬底上设有一贯穿整个(100)单晶硅衬底宽度的截面为近菱形的沟槽；碳纳米管跨越所述沟槽并在所述沟槽上保持悬空；金属电极位于所述沟槽两侧并分别覆盖着碳纳米管跨于沟槽两侧的部分，使悬空的碳纳米管与沟槽两侧的金属电极间形成电学连接。该器件结构用于碳纳米管电子器件和传感器中。由于省去了盖板，器件结构制作过程简单，成品率高，适合阵列化生产。