专利详情

专利名称	一种基于原子力显微镜的纳米热电多参量原位定量表征装置
申请号	CN201210205677.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102692427A	公开（授权）日	2012.09.26
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	曾华荣;陈立东;赵坤宇;惠森兴;殷庆瑞;李国荣
主分类号	G01N25/20(2006.01)I	IPC主分类号	G01N25/20(2006.01)I
专利有效期	一种基于原子力显微镜的纳米热电多参量原位定量表征装置至一种基于原子力显微镜的纳米热电多参量原位定量表征装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种基于原子力显微镜的纳米热电能源材料多参量原位定量表征装置，用于检测一被测纳米热电材料样品的微区热导系数和塞贝克系数等热电物性参量，包括：一纳米热电多参量的原子力显微镜原位激励平台，用于提供纳米热电多参量激发所需的基本硬件平台，并实现原位同时激发纳米热电材料微区三倍频热导信号和微区稳态塞贝克直流电压信号；一纳米热电多参量原位检测平台，用于实现纳米热电材料微区热导和塞贝克电压的原位实时检测及数据处理，实时显示微区热导系数和塞贝克系数的定量表征结果。本发明将原子力显微镜纳米检测功能、宏观热导率的三倍频检测原理及宏观塞贝克系数测试原理相结合，建立起基于商用原子力显微镜并兼具纳米级热激励和热电多参量检测特性的纳米原位评价装置。