专利详情

专利名称	移动式弧光放电离子镀膜设备及其应用
申请号	CN201010219512.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102312196A	公开（授权）日	2012.01.11
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	于志明;牛云松;何宇廷;崔荣洪
主分类号	C23C14/24(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/24(2006.01)I
专利有效期	移动式弧光放电离子镀膜设备及其应用至移动式弧光放电离子镀膜设备及其应用	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及离子镀膜设备领域，具体为一种移动式弧光放电离子镀膜设备及其应用，可应用到飞机大型构件的功能化处理，也可推广应用到航天飞行器、大型客货船等大型或重型器件的表面耐磨、耐蚀以及各种功能性镀膜处理。抽气机组的抽气口与真空腔体的排气口相连接，蒸发源电源控制单元的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和蒸发源的靶材上；偏压电源的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和被镀工件上；复合真空计的高、低真空规探头分别与安装在真空腔体底部的离子真空规管和热阻规管相连接；温度监测单元与安装在真空腔体底部的热电偶相连接。本发明解决不便装入镀膜设备真空室内的大型部件、不宜拆卸搬运器件的局部镀膜处理等问题。