专利详情

专利名称	激光直写有机热刻蚀材料及其制备方法
申请号	CN201210421357.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102880003A	公开（授权）日	2013.01.16
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	邓常猛;耿永友;吴谊群
主分类号	G03F7/004(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/004(2006.01)I;C07C39/15(2006.01)I;C07C39/17(2006.01)I;C07C39/16(2006.01)I;C07C37/20(2006.01)I
专利有效期	激光直写有机热刻蚀材料及其制备方法至激光直写有机热刻蚀材料及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种激光直写有机热刻蚀材料及其制备方法，该材料是利用2-甲基间苯二酚或1，2，3-三苯酚与醛类在酸的催化下发生缩合反应生成的。该材料用于激光直写制备凸起型微米及纳米级图形结构，不需要用飞秒激光脉冲、不需要多层膜结构，而只需要微秒脉冲激光或是连续激光和单层膜结构，降低了对激光设备的要求，简化了工艺，降低了成本、提高了效率。另外，该有机材料相比于需要在高真空条件下采用磁控溅射或蒸镀的方法来制膜的激光热刻蚀无机材料，其可溶解于有机溶剂、可采用简便的旋涂方法制膜，进一步降低了制膜成本、提高了制膜效率。