专利详情

专利名称	Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台
申请号	CN201210331240.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102881337A	公开（授权）日	2013.01.16
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	翟嘉;谭大川;吴永前;张灿
主分类号	G12B5/00(2006.01)I	IPC主分类号	G12B5/00(2006.01)I
专利有效期	Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台至Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台，包括：压电陶瓷驱动器螺钉、压电陶瓷驱动器端盖、压电陶瓷驱动器端盖螺钉、压电陶瓷驱动器、外筒、三柔性铰链圆形片工作台连接螺钉、三柔性铰链圆形片工作台。本发明结构紧凑，可实现Z-θx-θy三自由度纳米级精度的无耦合运动或定位，同时可承载一定弯矩、扭矩载荷；并可通过定心修切加工工艺，提高工作台上承载物与工作台外圆或内孔的同轴度。