专利详情

专利名称	自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法
申请号	CN201110260843.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102314095A	公开（授权）日	2012.01.11
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	闫观勇;王向朝;杨济硕;徐东波;段立峰
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法至自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法，首先采集待测空间像，然后得到与待测空间像对应的主成分和回归矩阵，并对主成分插值。待测空间像裁剪之后，经过粗定心流程，待测空间像位置估计值判断流程和精定心流程得到待测空间像对应的主成分系数。根据回归矩阵和主成分系数，采用最小二乘法得到投影物镜的波像差。本发明可以自适应地处理有较大偏心的待测空间像，降低了光刻机对准的要求，提高了光刻机投影物镜波像差检测的重复性。