专利详情

专利名称	一种子孔径拼接干涉仪系统及测量光学镜片面形的方法
申请号	CN201210325586.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102865809A	公开（授权）日	2013.01.09
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	贾辛;徐富超;谢伟民;邢廷文
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种子孔径拼接干涉仪系统及测量光学镜片面形的方法至一种子孔径拼接干涉仪系统及测量光学镜片面形的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种子孔径拼接干涉仪系统，包括在地面隔振单元、填充物，隔断层、第一主动隔振单元、平台、气浮导轨、第一平台、第二主动隔振单元、第二平台、移动机构、转台、待测光学镜片、气浮导轨、衍架、透明罩。本发明提供一种带有隔振效果的子孔径拼接干涉仪机构是通过多层隔振处理，可以隔离地面振动对测量的影响，通过加上玻璃罩，在测量空间中充氮气，减少气流和温度波动，通过在气浮导轨上方加主动隔振单元，减少气膜波动对移相的影响。同时，机构可以做二维平移和旋转的运动，可以在拼接过程中实现绝对测量。本发明还提供一种使用子孔径拼接干涉仪系统测量光学镜片面形的方法。