专利详情

专利名称	微机械谐振器
申请号	CN201210399267.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102868384A	公开（授权）日	2013.01.09
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	熊斌;吴国强;徐德辉;王跃林
主分类号	H03H9/24(2006.01)I	IPC主分类号	H03H9/24(2006.01)I;H03H3/02(2006.01)I
专利有效期	微机械谐振器至微机械谐振器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种微机械谐振器，所述微机械谐振器至少包括：构成惠斯通电桥结构的谐振振子对，其中，所述谐振振子对包括两个具有轴对称结构的谐振振子结构、主支撑梁、第一耦合梁、第一锚点、第二锚点、驱动电极。与传统的电容驱动-压阻检测微机械谐振器相比，本发明利用差分电容激励驱动组成惠斯通电桥的两个谐振振子结构工作，消除输出信号中混有的电容信号，以获得单纯的压阻信号；同时，本发明利用耦合结构将惠斯通电桥的两个谐振振子结构耦合起来，由于耦合结构使两个谐振振子结构连接为一体运动，消除了输出信号中出现两个谐振频率的问题；进一步，本发明结构简单，输出信号大，灵敏度高，受温度影响小。