专利详情

专利名称	一种具有高占空比的微机械热电堆红外探测器及制作方法
申请号	CN201110213982.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102322961A	公开（授权）日	2012.01.18
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	熊斌;徐德辉;马颖蕾;王跃林
主分类号	G01J5/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01J5/12(2006.01)I;G01J5/14(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	一种具有高占空比的微机械热电堆红外探测器及制作方法至一种具有高占空比的微机械热电堆红外探测器及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种高占空比非致冷热电堆红外探测器的结构及制作方法，其特征在于在采用了L形折叠型热电偶臂设计，摒弃了传统热电堆结构笔直的结构设计，将热电偶臂进行了折叠处理，折叠部分的热电偶臂相互垂直。热电堆结构冷结区(21)固定在硅基体(13)上，热电堆结构热结区端(20)固定在红外吸收区(15)上，热电堆结构下方的硅衬底(16)通过硅腐蚀技术去除，而热电堆传感器的热电偶臂(14和12)则通过折叠的方式分布在吸收区四周。本发明微机械热电堆结构可广泛应用于红外探测器、气体传感器和真空传感器等微机电传感器。