专利详情

专利名称	一种超衍射定向传输材料结构制备后的测试分析方法
申请号	CN201210325524.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102879360A	公开（授权）日	2013.01.16
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	罗先刚;王长涛;赵泽宇;高平;胡承刚;黄成;杨欢;蒲明薄;陶兴;姚纳
主分类号	G01N21/63(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/63(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I
专利有效期	一种超衍射定向传输材料结构制备后的测试分析方法至一种超衍射定向传输材料结构制备后的测试分析方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种超衍射定向传输材料结构制备后的测试分析方法，在透明基底上通过纳米加工方法得到纳米狭缝或孔结构掩模；在已平坦化的纳米狭缝或孔结构掩模上沉积金属介质交替多层膜结构材料；通过刻蚀或研磨的方法实现表层薄膜材料的粗糙化，完成结构制备；然后通过光源照明狭缝或小孔，激发表面等离子体倏逝波光场，并交替耦合到多层金属介质薄膜材料中，表面等离子体光场在金属介质膜层材料最外层形成特定分布，并被粗糙化表面散射到远场，通过物镜和CCD观测记录；最后计算得出超衍射材料的定向传输角度θ。本发明将高频倏逝波能量转化到远场进行探测和分析，可满足超衍射材料光学特性在远场范围的量化分析及表征需求。