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一种全球面投影物镜

  • 申请号:CN201110187035.7
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
  • 公开(公开)号:CN102331616A
  • 公开(公开)日:2012.01.25
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种全球面投影物镜
申请号 CN201110187035.7 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102331616A 公开(授权)日 2012.01.25
申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 朱红伟;邢廷文;林妩媚;廖志远;廖志杰;张海波
主分类号 G02B13/06(2006.01)I IPC主分类号 G02B13/06(2006.01)I;G02B13/18(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期 一种全球面投影物镜 至一种全球面投影物镜 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提出了一种全球面投影物镜,用于将物平面的图像成像到像平面内。该全球面投影物镜系统,沿其光轴方向包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组。从光束入射方向顺序第一透镜组G1具有正光焦度,第二透镜组G2具有负光焦度,第三透镜组G3具有正光焦度,第四透镜组G4具有负光焦度,第五透镜组G5具有正光焦度。且所述的全球面投影镜组中所有镜片都是球面,不含非球面。本发明的全球面投影镜组能更好地补偿像差,提升成像质量,并提升了系统分辨力,提高光刻效率。

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