专利详情

专利名称	晶体管测试装置及方法
申请号	CN200910308495.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101930051A	公开（授权）日	2010.12.29
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	毕津顺;海潮和;韩郑生;罗家俊
主分类号	G01R31/26(2006.01)I	IPC主分类号	G01R31/26(2006.01)I
专利有效期	晶体管测试装置及方法至晶体管测试装置及方法	法律状态	专利申请权、专利权的转移
说明书摘要	本发明提出了一种晶体管测试装置及方法，属于微电子技术领域。所述晶体管的测试装置包括：路径选择电路，用于接收路径选择信号和输入信号，并根据路径选择信号控制输入信号的通路；逻辑门链电路，与路径选择电路耦接，用于使信号经过以形成测试后信号；逻辑门链电路为级联的偶数个门电路构成的级联电路，其中，门电路由待测试的晶体管构成；输出缓冲器电路，与逻辑门链电路和路径选择电路分别耦接，用于接收来自逻辑门链电路或路径选择电路的中间信号并输出经缓冲后的输出结果。通过本发明的上述技术方案，提供一种晶体管测试装置及方法，可以解决晶体管在封装条件下的测试问题，监控工艺和器件的结构，简便实用地测试晶体管。