专利详情

专利名称	禁带宽度连续可调的多元合金氧化物薄膜材料及制备方法
申请号	CN200810042305.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101359705	公开（授权）日	2009.02.04
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	杨长;李效民;于伟东;张亦文
主分类号	H01L33/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01L33/00(2006.01)I;H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/363(2006.01)I;C30B29/22(2006.01)I
专利有效期	禁带宽度连续可调的多元合金氧化物薄膜材料及制备方法至禁带宽度连续可调的多元合金氧化物薄膜材料及制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种禁带宽度连续可调的多元合金氧化物薄膜材料及制备方法，特征在于所述的薄膜材料的组成为Zn_1-x-yBe_xMg_yO，其中x、y为摩尔分数，且0≤x≤1，0≤y≤1，0≤x+y≤1，晶体结构为六方纤锌矿结构。通过调节薄膜材料中Be和Mg的含量，其禁带宽度在3.3～10.8eV范围内连续可调。与ZnMgO合金薄膜体系相比，其禁带宽度可以在更大范围内连续调节，并且保持单一六方纤锌矿结构，没有分相产生；与BeZnO合金薄膜体系相比，其晶格失配度较低，具有更高的结晶质量。该锌铍镁氧多元合金氧化物薄膜在短波长光电器件领域具有广泛的应用前景。