专利详情

专利名称	双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法
申请号	CN201010126608.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101806657A	公开（授权）日	2010.08.18
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	周明;李大伟;赵元安;邵建达;范正修
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I;G02B5/30(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I
专利有效期	双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法至双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法，测量装置采取两组不同的光路，分别对不同波长的激光进行能量和光斑大小进行控制，并且通过光路延迟方法来保证双波长激光到达待测样品表面的时间一致性。通过固定选取某一波长λ1激光能量密度的方法来测量λ1和λ2双波长激光同时作用待测样品的损伤阈值，同时采用阈值差比较法来判定不同波长激光在光学薄膜损伤中的贡献。本发明可以得到双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值，并且可以对某一波长激光在损伤中的贡献做出评价。