专利详情

专利名称	一种测量制冷型红外探测器光敏元间温差的装置和方法
申请号	CN200810201542.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101373153	公开（授权）日	2009.02.25
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	张海燕;胡晓宁;李言谨;龚海梅;陆华杰
主分类号	G01K7/01(2006.01)I	IPC主分类号	G01K7/01(2006.01)I
专利有效期	一种测量制冷型红外探测器光敏元间温差的装置和方法至一种测量制冷型红外探测器光敏元间温差的装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明专利公开了一种测量制冷型红外焦平面探测器件各光敏元间的温度差的装置和方法。温度分布不均匀会导致材料的禁带宽度有差异从而影响器件的响应波长，不利于焦平面的均匀性指标的提高，因此不同位置的光敏元温度分布是非常值得关注的。但目前还没有哪个方法能简单方便的测量几何尺寸在微米量级的光敏元的温度。本专利通过静电计测量微小面积光敏元的电势差，可以方便的得到他们间的温度差。该方法简便易行，测量准确，值得推广使用。