专利详情

专利名称	离焦量测试系统及测试方法
申请号	CN201210232918.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102749185A	公开（授权）日	2012.10.24
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	陈永权;段亚轩;赵建科;赛建刚;李坤;张洁;胡丹丹
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	离焦量测试系统及测试方法至离焦量测试系统及测试方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种离焦量测试系统及测试方法，该离焦量测试系统包括光源、小口径缩束系统、大口径缩束系统、自准元件以及波前测试装置；小口径缩束系统包括分光镜、准直物镜以及准直目镜；分光镜设置在光源的出射光路上；所述准直物镜设置在经分光镜透射后的透射光路上；大口径缩束系统以及自准元件依次设置在经分光镜与准直物镜透射后的透射光路上；透射光依次经过大口径缩束系统以及自准元件后形成自准光；自准光依次经过大口径缩束系统、准直物镜以及分光镜后并由分光镜反射至准直目镜；波前测试装置设置在经准直目镜透射后的透射光路上。本发明提出了一种集成度高、结构紧凑以及自动化程度高的离焦量测试系统及测试方法。