快速热退火设备中氧气浓度的监测方法
- 申请号：CN201110097054.0
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN102751211A
- 公开(公开)日：2012.10.24
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 快速热退火设备中氧气浓度的监测方法 | ||
| 申请号 | CN201110097054.0 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102751211A | 公开（授权）日 | 2012.10.24 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 李春龙;李俊峰 |
| 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 专利有效期 | 快速热退火设备中氧气浓度的监测方法 至快速热退火设备中氧气浓度的监测方法 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 一种快速热退火设备中氧气浓度的监测方法，通过引入裸晶圆来监测快速热退火设备中的氧气浓度，在进行快速热退火处理之前，测量裸晶圆表面的自然氧化层的厚度，在快速热退火处理之后，再测量裸晶圆表面具有的氧化层的厚度，通过两次厚度的差值来测出所增加的氧化层厚度，能够准确地监测快速热退火设备中真实的氧气浓度，进而能根据测得的结果对快速热退火设备进行随时的调控，保证快速热退火工艺的有效性和稳定性。 | ||
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