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一种提高夏克-哈特曼波前传感器测量精度的波前重构方法

  • 申请号:CN201210237127.6
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
  • 公开(公开)号:CN102749143A
  • 公开(公开)日:2012.10.24
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种提高夏克-哈特曼波前传感器测量精度的波前重构方法
申请号 CN201210237127.6 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102749143A 公开(授权)日 2012.10.24
申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 田雨;饶学军;饶长辉
主分类号 G01J9/00(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/00(2006.01)I
专利有效期 一种提高夏克-哈特曼波前传感器测量精度的波前重构方法 至一种提高夏克-哈特曼波前传感器测量精度的波前重构方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供一种提高夏克-哈特曼波前传感器测量精度的波前重构方法,该方法以传统夏克-哈特曼波前传感器得到的波前探测像差作为起始点,利用迭代算法反复在波前像差与子孔径光斑间进行循环,通过比较迭代出的子孔径光斑与初始子孔径光斑间的形态判断迭代是否已经到位,最后得到高精度的波前像差分布。本发明可以克服夏克-哈特曼波前传感器空间采样率不足的弱点,进一步提高其探测精度与探测能力,并降低对夏克-哈特曼波前传感器硬件的要求。

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