用于保持热预算稳定的加热方法
- 申请号：CN201110104354.7
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN102760638A
- 公开(公开)日：2012.10.31
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 用于保持热预算稳定的加热方法 | ||
| 申请号 | CN201110104354.7 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102760638A | 公开（授权）日 | 2012.10.31 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 李春龙 |
| 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
| 专利有效期 | 用于保持热预算稳定的加热方法 至用于保持热预算稳定的加热方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于保持热预算稳定的加热方法，通过在主工序后插入一个虚拟工序，使得整个加热工艺的总时间保持不变，有利于保持热预算稳定，进一步有利于器件性能维持稳定。 | ||
交易流程
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选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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