专利详情

专利名称	一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置
申请号	CN200810203389.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101408461	公开（授权）日	2009.04.15
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	王小坤;张亚妮;曾智江;朱三根;龚海梅;郝振贻
主分类号	G01J5/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01J5/00(2006.01)I;G01J5/02(2006.01)I
专利有效期	一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置至一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其结构主要由微型吸附泵、双通二位快速转换真空阀门，过渡管、高气密真空对接接头、红外探测器杜瓦组件组成。本发明是利用低温介质对无电源微型吸附泵内的活性炭进行制冷，低温下的活性炭对红外探测器杜瓦组件进行排气，双通二位快速转换真空阀门可以实现微型吸附泵与多个红外探测器杜瓦组件之间快速高气密的交替连接，来获得红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的所需要真空度。本发明避免了排气装置对红外探测器杜瓦组件性能测试的电磁干扰，解决了处于低温红外探测器突然暴露空气会导致红外探测器芯片和其相应的光学元件被污染的问题，提高了测试效率。