专利详情

专利名称	金属或金属氧化物纳米颗粒的制备方法
申请号	CN200810034931.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101429644	公开（授权）日	2009.05.13
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	李效民;吴永庆;于伟东;徐军;夏长泰
主分类号	C23C14/14(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/14(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I
专利有效期	金属或金属氧化物纳米颗粒的制备方法至金属或金属氧化物纳米颗粒的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种金属或金属氧化物纳米颗粒的制备方法，其特征在于采用还原气氛热处理方法，包括衬底表面处理、金属或金属氧化物薄膜的制备和热处理三大步骤。本发明旨在通过对金属或金属氧化物薄膜进行还原气氛热处理，在衬底上得到各种纳米颗粒。该方法的优点在于可以通过调节镀膜时间、功率和还原气氛热处理温度及时间对颗粒形貌、分布和大小进行控制，可与半导体工艺相结合，得到的纳米颗粒具有特殊的催化、光电特性。方法适合于Fe、Co、Ni、Cu、Si、Ag、Al、Ti、Zn、Al、Mg、Ta、Mo、Sn或 Pt金属及其氧化物纳米颗粒的制备。制备的纳米颗粒粒径为5～200mm，常见为球形。