专利详情

专利名称	一种微尖端阵列器件及其制作方法
申请号	CN200710176936.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101430938	公开（授权）日	2009.05.13
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	陈大鹏;傅剑宇;景玉鹏;欧毅;叶甜春
主分类号	G12B21/00(2006.01)I	IPC主分类号	G12B21/00(2006.01)I;G12B21/02(2006.01)I;G11B13/08(2006.01)I;G11B11/24(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I
专利有效期	一种微尖端阵列器件及其制作方法至一种微尖端阵列器件及其制作方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及微电子技术中的深亚微米、纳米加工技术领域，公开了一种微尖端阵列器件，该器件由微尖端阵列、COMS控制电路单元和连接柱构成；微尖端阵列包括多个微尖端，每个微尖端通过一个连接柱与COMS 控制电路单元进行机械和电学连接；COMS控制电路单元用于控制微尖端阵列中微尖端进行独立工作；连接柱用于实现微尖端阵列中微尖端与 CMOS控制单元的机械和电学连接。本发明同时公开了一种微尖端阵列器件的制作方法。利用本发明，通过CMOS电路控制金属尖端场致发射电子束，实现了高分辨率纳米级图形加工和高密度数据存储，并通过微尖端阵列化解决了单探针工作效率低的问题。