专利详情

专利名称	一种互连线平均失效时间计算方法及系统
申请号	CN201110319494.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102508953A	公开（授权）日	2012.06.20
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	马天宇;陈岚;阮文彪
主分类号	G06F17/50(2006.01)I	IPC主分类号	G06F17/50(2006.01)I
专利有效期	一种互连线平均失效时间计算方法及系统至一种互连线平均失效时间计算方法及系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明实施例公开了一种互连线平均失效时间计算方法及系统。所述方法包括：确定目标电路版图中目标互连线的实际区域横截面的面积，所述实际区域为所述目标互连线原始区域中损失区域以外的区域；获取经过所述目标互连线的电流数据；以所述电流数据除以所述实际区域横截面的面积，得到所述目标互连线的实际电流密度；将所述目标互连线的实际电流密度代入平均失效时间函数，获得所述目标互连线的平均失效时间。本方案中，充分考虑了CMP处理后所产生的损失区域带来的误差影响，在计算互连线的MTTF时，所确定的电流密度为通过目标互连线实际区域的电流密度，进而进行后续MTTF计算，因此，可以有效计算CMP处理后互连线的MTTF。