专利详情

专利名称	声表面波气体传感器及其制作方法
申请号	CN201110340578.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102507733A	公开（授权）日	2012.06.20
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	李冬梅;周文;刘明;谢常青;侯成诚;汪幸;闫学锋
主分类号	G01N29/036(2006.01)I	IPC主分类号	G01N29/036(2006.01)I
专利有效期	声表面波气体传感器及其制作方法至声表面波气体传感器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本实施例公开了一种声表面波气体传感器及其制作方法，该声表面波气体传感器用于探测NO2气体的浓度，该方法包括：提供基底，所述基底包括本体层和位于所述本体层表面上的输入叉指换能器和输出叉指换能器；在所述基底表面上形成感光层，在感光层表面内形成敏感膜区图形；以具有敏感膜区图形的感光层为掩膜，在所述基底表面上形成具有In2O3与Ag的复合膜；去除所述感光层材料，得到敏感膜，所述敏感膜位于所述输入叉指换能器和输出叉指换能器之间的本体层表面上。本发明实施例的传感器在常温下灵敏度高，反应快速，且能准确测量NO2气体的浓度。