专利详情

专利名称	一种大范围平面度的测量装置及其测量方法
申请号	CN201210056004.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102607472A	公开（授权）日	2012.07.25
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	肖茂森;吴易明;李春艳;刘爱敏;陆卫国
主分类号	G01B11/30(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/30(2006.01)I
专利有效期	一种大范围平面度的测量装置及其测量方法至一种大范围平面度的测量装置及其测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种大范围平面度的测量装置及其测量方法，从而方便、快速地对大范围平面度进行有效测量。该大范围平面度的测量装置包括高精度自准直仪、斜方棱镜组以及可转动连接装置。测量时，斜方棱镜的测量头部瞄准待测平面，通过高精度自准直仪测量待测平面的平面度，其中高精度自准直仪所发出的平行光路，经过两个斜方棱镜，在每个斜方棱镜的两次反射作用后，其出射光矢量和原入射光矢量相同，即每个斜方棱镜经过两次反射所折转的光路不影响出射光矢量，待测平面反射后的光路又经过斜方棱镜至高精度自准直仪，便可以实现对被测平面的平面度测量。