专利详情

专利名称	一种铁电隧道结室温红外探测器及制备方法
申请号	CN201210073711.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102610758A	公开（授权）日	2012.07.25
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	孟祥建;王建禄;孙璟兰;林铁;沈宏;韩莉;褚君浩
主分类号	H01L51/42(2006.01)I	IPC主分类号	H01L51/42(2006.01)I;H01L51/46(2006.01)I
专利有效期	一种铁电隧道结室温红外探测器及制备方法至一种铁电隧道结室温红外探测器及制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种铁电隧道结室温红外探测器及制备方法。其特征在于，器件结构自下而上依次为是衬底、金属底电极、铁电功能层和半透金属上电极。器件制备步骤是在柔性薄膜衬底表面蒸发或溅射金属作为底电极，然后在底电极表面运用LB法生长厚度1-6纳米PVDF基聚合物薄膜作为铁电功能层，随后在铁电功能层上运用蒸发或溅射方法制备金属上电极形成铁电隧道结，最后减薄衬底。器件是通过通入微小恒定电流，光照下测量电极两端电压实现红外探测。该探测器具有根据应用环境和探测目标的需求温度系数大小与极性可调，无需对入射辐射调制等特性。