专利详情

专利名称	石英晶圆深微孔加工设备及方法
申请号	CN200710178773.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101450788	公开（授权）日	2009.06.10
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	罗小光;刘茂哲;李全宝;高超群;景玉鹏
主分类号	B81C5/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81C5/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	石英晶圆深微孔加工设备及方法至石英晶圆深微孔加工设备及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种石英晶圆深微孔加工设备，该设备包括空气压缩机、喷砂枪和载玻台，所述压缩机连接着喷砂枪，压缩机向喷砂枪输送高压缩空气，致使喷砂枪内的磨料高速喷击到置于载玻台的石英晶圆上，利用高速运动的磨料撞击石英材料实现在石英晶圆上的深微孔加工。本发明同时公开了一种对石英晶圆进行深微孔加工的方法。利用本发明，解决了激光不能在透明材料打孔的弊端，以及离子打孔电荷问题不能加工深微孔等一系列问题，实现了在石英上的深微孔制作，设备简单，易于实现，而且成本低廉，刻蚀速度快，可以批量生产。