专利详情

专利名称	一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜
申请号	CN201210107914.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102621822A	公开（授权）日	2012.08.01
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	罗先刚;赵泽宇;王彦钦;冯沁;王长涛;罗云飞;陶兴;黄成;杨磊磊;姚纳
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I
专利有效期	一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜至一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜，该透镜包括：可以传输光的平面多层金属-介质膜、可以缩小成像的曲面多层膜、金属掩模结构、粘连剂层及基底。本发明所述透镜简单，可行性高，只需要常规的涂胶、光刻和工艺镀膜，就可以得到物面为曲面、像面为平面的缩小倍率超分辨成像透镜，所述透镜能够传输高频信息、分辨半波长以下图形，具有广阔的应用前景；同时，本发明所述透镜拓展了现有超分辨缩小成像技术的应用范围。