专利详情

专利名称	一种加速CMP仿真的方法和装置
申请号	CN201110379986.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102508981A	公开（授权）日	2012.06.20
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	陈岚;阮文彪;吴玉平
主分类号	G06F17/50(2006.01)I	IPC主分类号	G06F17/50(2006.01)I
专利有效期	一种加速CMP仿真的方法和装置至一种加速CMP仿真的方法和装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种加速CMP仿真的方法和装置。该加速CMP仿真的方法包括：步骤1，将物理版图划分为若干区域；步骤2，利用几何同构将所述若干区域内的图形划分为不同的几何同构序列；步骤3，选取几何同构序列中的一个区域内的图形进行CMP仿真；步骤4，根据仿真数据对几何同构序列中的其他区域内的图形进行复用。本发明通过物理版图区域划分、区域内图形几何同构、区域内的CMP仿真、区域CMP仿真数据的复用，以提高对全芯片的CMP仿真速度，缩短对全芯片的CMP仿真时间；以图形同构方式合并CMP仿真任务，基于图形同构对相同的物理版图CMP仿真任务进行一次计算，复用其CMP仿真结果，从而通过减少CMP仿真任务数量提高对全芯片的CMP仿真速度。