专利详情

专利名称	利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法
申请号	CN200810208129.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101451946	公开（授权）日	2009.06.10
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	于海涛;李昕欣;李俊纲;许鹏程;陈滢
主分类号	G01N19/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N19/00(2006.01)I
专利有效期	利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法至利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作，特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜，利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零，而自由端处质量检测灵敏度最大的特性，通过同时记录悬臂梁的各个模态在检测前后频率的变化，得到各个敏感位置所吸附的不同物质的质量，从而实现用单根悬臂梁检测多种物质。本发明的特点是结构简单、制作方便、容易实现以及扩展性好等特点。